Корзина 0 шт.
Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем В 2 частях Часть 1 Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование Серия: Электроника инфо 5884l.

Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработкаъныфа материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах Для студентов и аспирантовбйрву, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области Авторы Михаил Королев Татьяна Крупкина Марина Ревелева.


Цена: 3280 руб.